MOQ: | 1 pezzo |
prezzo: | US $ 15/PC |
Imballaggio standard: | Cisterna/serbatoio |
Periodo di consegna: | 15 giorni |
Metodo di pagamento: | L/C, T/T |
Capacità di approvvigionamento: | 200 tonnellate/anno |
L'esafluoruro di tungsteno (WF6) è un composto chimico composto da un atomo di tungsteno e sei atomi di fluoro.L'esafluoruro di tungsteno è altamente reattivo e può reagire violentemente con l'acqua o l'umidità nell'aria, rilasciando gas tossico fluoruro di idrogeno.
Le applicazioni dell'esafluoruro di tungsteno comprendono il suo uso come precursore per depositare pellicole di tungsteno nei processi di produzione dei semiconduttori.È comunemente utilizzato nelle tecniche di deposizione chimica a vapore (CVD) per creare film sottili di tungsteno per varie applicazioniL'esafluoruro di tungsteno è preferito in questi processi a causa della sua elevata pressione di vapore, che consente una deposizione efficiente.
Tuttavia, è importante manipolare e conservare con cautela l'esafluoruro di tungsteno a causa della sua reattività e tossicità.compresa l'uso di adeguate attrezzature di protezione e procedure di movimentazione, deve essere seguita quando si lavora con questo composto.
Oggetti di prova | Unità | Requisiti di qualità | Risultati delle prove |
CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
Diossido di carbonio | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Come | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
B | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Ca | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
K. | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
M | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
No. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
- Sì. | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
- Sì. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
Cu | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Impurità totali di altri metalli | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
MOQ: | 1 pezzo |
prezzo: | US $ 15/PC |
Imballaggio standard: | Cisterna/serbatoio |
Periodo di consegna: | 15 giorni |
Metodo di pagamento: | L/C, T/T |
Capacità di approvvigionamento: | 200 tonnellate/anno |
L'esafluoruro di tungsteno (WF6) è un composto chimico composto da un atomo di tungsteno e sei atomi di fluoro.L'esafluoruro di tungsteno è altamente reattivo e può reagire violentemente con l'acqua o l'umidità nell'aria, rilasciando gas tossico fluoruro di idrogeno.
Le applicazioni dell'esafluoruro di tungsteno comprendono il suo uso come precursore per depositare pellicole di tungsteno nei processi di produzione dei semiconduttori.È comunemente utilizzato nelle tecniche di deposizione chimica a vapore (CVD) per creare film sottili di tungsteno per varie applicazioniL'esafluoruro di tungsteno è preferito in questi processi a causa della sua elevata pressione di vapore, che consente una deposizione efficiente.
Tuttavia, è importante manipolare e conservare con cautela l'esafluoruro di tungsteno a causa della sua reattività e tossicità.compresa l'uso di adeguate attrezzature di protezione e procedure di movimentazione, deve essere seguita quando si lavora con questo composto.
Oggetti di prova | Unità | Requisiti di qualità | Risultati delle prove |
CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
Diossido di carbonio | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Come | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
B | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Ca | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
K. | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
M | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
No. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
- Sì. | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
- Sì. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
Cu | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Impurità totali di altri metalli | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |